Giới thiệu sản phẩm:

Thông số kỹ thuật:

• Hệ thống:
  • Kỹ thuật đo lường: Giao thoa kế quét mạch kết hợp 3D không tiếp xúc
  • Scanner: Động cơ piezo vòng kín, với các cảm biến điện dung tuyến tính cao
  • Vật kính:
    • Độ phóng đại 1.0X – 100X
    • Khoảng làm việc tiêu chuẩn hoặc lớn
  • Gá đỡ vật kính: Chuôi đuôi én vật kính đơn
  • Trường zoom ống kính: 0.5X, 1.0X, 2.0X
  • Trường nhìn: 0.04 đến 16 mm, Tích hợp khẩu trường cho các khu vực lớn hơn
  • Chiếu sáng: Đèn LED ánh sáng trắng đơn có tuổi thọ cao, hình ảnh đồng nhất và hiệu quả cao
  • Mảng đo lường: 1024 x 1024, 512 x 512, 1024 x 160
  • Lấy nét: Bằng tay hoặc tự động
  • Trục Z (lấy nét): dải đo 100 mm với độ phân giải 0.1 µm
  • Tải trọng thực của bàn đo: tối đa 150 kg
  • Hệ điều hành: PC i7 với màn hình hiển thị 1080P
  • Phần mềm: ZYGO Mx
• Tính năng:
  • Dải scan dọc: 150 µm, có thể mở rộng đến 20 mm
  • Độ lặp lại địa hình bề mặt: < 0.12 nm
  • Độ phân giải: 0.30 µm sử dụng ống kính  100X 0.85NA
  • Tỉ lệ scan dữ liệu: ≤96 µm/giây, người dùng có thể lựa chọn
  • Điểm dữ liệu tối đa:  1,048,576
  • Độ lặp lại RMS: < 0.01 nm RMSσ 
  • Chiều cao bước: 
    • Độ chính xác: ≤ 0.75%
    • Độ lặp lại: ≤0.1% @ 1σ
    • Tốc độ tối đa của bàn đo: 250 mm/giây
    • Sự tăng tốc tối đa của bàn đo: 3 m/s^2
• Yêu cầu môi trường:
  • Nhiệt độ: 15 đến 30°C với tỉ lệ thay đổi <1.0°C mỗi 15 phút
  • Tỉ lệ thay đổi nhiệt độ: <0.25°C mỗi 15 min
  • Độ ẩm tương đối: 5 đến 95%, không ngưng tụ
  • Cách ly rung động: VC-C, yêu cầu đối với tần số rung động trong phạm vi từ 1 Hz đến 120 Hz
  • Âm thanh: NC30
• Các yêu cầu tiện ích: 
  • ĐIện áp đầu vào: 100 đến 240 VAC, 50/60 Hz 
  • Khí nén: 60 đến 80 psi (4.1 đến 5.5 bar)
• Kích thước: 
  • Kích thước không có vỏ hộp: 159 x 130 x 147 cm 
  • Kích thước có vỏ hộp: 166 x 140 x 164 cm
• Khối lượng: 
  • Khối lượng không có vỏ hộp:  1830 kg 
  • Khối lượng có vỏ hộp: 1955 kg 

Đánh giá & bình luận: