Tham số đo biên dạng sơ cấp: Pa, Pt, Pp, Pv, Pz, Pq, Psm, Psk, Pku, Pmr.
Dải đo trục X: 100 mm
Độ phân giải trục X: 0.2 µm
Độ thẳng trục X: 0.5 µm/100 mm
Tốc độ di chuyển trục X: 0.1~10 mm/s
Dải đo trục Z: ±420 µm
Độ phân giải trục Z: 0.001 µm
Độ chính xác tuyến tính trục Z: ≤±(7 nm+3.5%)
Tốc độ di chuyển trục Z: 0.5~10 mm/s
Độ lặp lại trục Z: 1σ≤2 nm
Bán kính/góc của đầu cảm ứng: 5 µm/90°
Chiều dài cut-off: 0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8 mm
Số lần cut-off: 2-7
Đơn vị đo: µm
Động cơ truyền động: Mô tơ
Hành trình của trục Z: 320 mm
Kích thước (D x R x C): 1200 x 700 x 1780 mm
Nguồn cấp: 220±5% V, 50 Hz
Trọng lượng: 320 kg
Bao gồm:
- Máy chính x 1
- Đầu dò nhám (với đầu cảm ứng) x 1 (mỗi thứ 1 cái)
- Khối hiệu chuẩn x 1
- Mặt bàn đo x 1
- Ê tô x 1
- Máy tính x 1
- Phần mềm x 1 bộ
- Máy in x 1
- Dụng cụ lắp đặt x 1 bộ