Loại

XYZAX SVF NEX

4/4/3

6/5/3

8/6/6

Dải đo

Trục X (mm)

400

600

800

Trục Y (mm)

350

500

600

Trục Z (mm)

300

600

Giá trị hiển thị nhỏ nhất (μm)

0.01

Thang đo chiều dài

Thang đo tuyến tính

Độ chính xác

Lỗi chỉ báo tối đa cho phép MPEE (μm)

L là khoảng cách giữa hai điểm bất kỳ (mm)

3.0 + 4.0 L/1000

4.0 + 5.0 L/1000

5.4 + 5.5 L/1000

Bàn đo

Chất liệu

Gabbro

Phạm vi sử dụng (mm)

600 x 895

800 x 1045

1000 x 1250

Chiều cao từ sàn (mm)

760

Độ phẳng

JIS nhóm 1

Vít cố định đối tượng cần đo

M10 vít bên trong

Phôi

Chiều cao tối đa (mm)

450

750

Trọng lượng tối đa (kg)

300

400

600

Hệ thống dẫn hướng của mỗi trục

Vòng bi không khí

Dải cân bằng đầu dò

0 tới 1 kg (200g mỗi biến)

Nguồn cấp khí

Áp suất cung cấp/áp suất làm việc (MPa)

0.3 đến 0.69/0.27

0.4 đến 0.69/0.39

Lượng tiêu thụ không khí (NL/phút)

40 (chuyển đổi áp suất khí quyển)

Nguồn cấp

ĐIện áp (V/%), tiêu thụ (VA)

AC 100 ± 10 (yêu cầu tiếp đất), 500