Tốc độ đáng kinh ngạc được thực hiện bởi một cơ chế truyền động mới được phát triển
Trình điều khiển của mỗi trục sử dụng một cơ chế dẫn động mới được phát triển để cho phép truyền động tốc độ cao và ổn định
Cơ chế dẫn động mới được phát triển này giúp tăng tốc độ truyền động lên 64% và khả năng tăng tốc lên 35%
Nắp thiết kế mới được sử dụng để ngăn thanh dẫn trục X và trục Y không bị ảnh hưởng trực tiếp bởi sự thay đổi nhiệt độ
Đầu xoay 2 trục RDS xoay ± 180° theo chiều ngang hoặc chiều dọc ở độ cao 5.0°, cho phép tối đa 5184 mẫu định vị. Bằng cách kết hợp với đầu dò quét VAST XXT, XYZAX AXCEL RDS có thể thực hiện phép đo quét dao động với độ chính xác cao ở nhiều góc độ khác nhau
Sai số đo chiều dài tối đa cho phép: E0, MPE: 1.8 + 3L/1000 μm (điều kiện 18~22℃)